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未来光学检测商场制程愈难需求愈高?
来源:未知 作者:admin 发布时间:2018-09-27 14:24 浏览量:

  未来光学检测商场制程愈难需求愈高?

   光学检测设备大厂科磊(KLA-Tencor)耗资200万美元,来台设置练习中心,就近为台湾客户供给练习课程与技能支撑,一起也对内部人员进行练习以进步专业技能。科磊总裁暨执行长Rick Wallace不讳言指出,光学检测能帮忙晶圆厂在最短时刻、以最契合本钱效益的方法,进步制程良率并拉高产能。相较于电子束(E-beam)检测设备,光学检测的开展性较强,未来仍会占较大商场。

  光学检测功率高、具本钱效益 商场占比仍大幅抢先

  因为半导体制程技能愈趋杂乱,晶圆缺点检测难度也随之进步。晶圆厂需求技能更精进、更有功率的设备支撑,因而带动了光学、电子束等晶圆缺点检测设备的需求生长。而科磊首要竞赛对手、电子束检测设备厂汉微科(Hermes Microvision, Inc.,HMI)日前表明,电子束晶圆缺点检测设备在2014年的商场规模,将继续生长达2.7亿至3亿美元。

  就现在电子束和光学检测设备两者的市占比来看,营销长Brian Trafas指出,电子束约占10%至15%,光学则占85%至90%。尽管两者都在继续生长,所占的商场比率改变却不大。会有如此距离,首要原因是电子束受限于电子互斥的物理特性,致使检测的速度,比光学检测慢一百到一千倍以上。执行长Wallace以检测一颗手机用晶粒为例,用电子束检测需花七天,用光学检测却只需七分钟。检测速度若不够快,就会影响晶圆厂的产出速度,也会反映在生产本钱上,进而影响厂商挑选。

  Wallace继续表明,科磊的2910系列检测渠道改进了分辨率,并采电浆扫描(Broadband Plasma,BBP)技能。他泄漏,日前有重要客户乃至因而削减选用电子束检测,转用更有功率的BBP光学检测设备。此外,相较于电子束较适用于研制阶 段,光学检测在研制和量产阶段皆适用,功率高也更全面,远景看好。Wallace表明,即将于2014年6月30日发布的2014年度财报,科磊的光学检测设备表现将创前史次高纪录,显现制程操控商场全体有所生长。

  继续精进技能研制 不畏工业制程微缩趋势

  科磊为研制新一代光学检测设备,不吝投入总营收约17%的资金精进技能,与其他高科技公司比较,出资适当高。以科磊日前宣布的新一代光罩检测设备「TeronTM SL 650」为例,从研制到进入商场即投入了5亿美元,适当惊人。此外,2018首届中国国际女性大健康产业发。有关检测设备是否会走向体系整合,执行长Wallace则清晰表明,经济效益问题仍为客户的首要考虑,加上仪器过于杂乱会下降功率,现在客户较不倾向选用整合性检测设备。

  而半导体工业制程微缩的趋势,特别是制程走入10奈米和3D芯片笔直仓库技能,对晶圆缺点检测设备的技能和需求也跟着升高,检测设备厂间的竞赛愈趋剧烈。 对此,科磊情绪达观,台湾分公司总经理张水荣表明,客户端制程愈来愈困难,光学检测也会跟着生长,对光学检测的未来开展适当有决心。

  

   光学检测LED芯片

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